IONPURE VNX55-E Mô-đun CEDI dòng chảy cao 18 MΩ-cm Nước siêu tinh khiết cho hệ thống xử lý nước tinh khiết cao vi điện tử

IONPURE VNX55-E là mô-đun di-ion điện liên tục dòng chảy cao (CEDI) cung cấp dòng chảy nước sản phẩm danh nghĩa 12,5 m³ / h (55 gpm) cho hệ thống bán dẫn và nước siêu tinh khiết. Được thiết kế như một mô-đun cedi không hóa chất cho các hệ thống xử lý nước tinh khiết cao, nó đảm bảo điện trở 18 MΩ · cm với ≥95% silica và loại bỏ bo. Phù hợp cho vi điện tử rửa nước, vòng lặp UPW fab wafer và thức ăn nồi hơi sản xuất điện.

Mô-đun CEDI dòng chảy cao là gì?

Mô-đun CEDI dòng chảy cao là một thiết bị lọc nước điện hóa liên tục loại bỏ các chất gây ô nhiễm ion hóa và ion hóa từ thẩm thấu ngược (RO) thâm nhập để sản xuất nước siêu tinh khiết mà không cần tái tạo hóa chất. Không giống như trao đổi ion giường hỗn hợp thông thường, các mô-đun CEDI sử dụng màng trao đổi ion, nhựa trao đổi ion và tiềm năng điện DC để thúc đẩy di chuyển ion, tách nước thành ion H + và OH để tái tạo nhựa tại chỗ. Điều này loại bỏ việc xử lý axit / cát, bể trung lập và thời gian ngừng tái tạo.

VNX55-E đại diện cho công suất dòng chảy danh nghĩa cao nhất trong dòng IONPURE VNX, được đánh giá là 12,5 m³ / h mỗi mô-đun. Nó được tối ưu hóa đặc biệt cho sản xuất vi điện tử, nơi kiểm soát silica, boron, natri và clorua ở mức ppb là bắt buộc để bảo vệ năng suất wafer. Nhiều mô-đun VNX55-E có thể được đa dạng song song để xây dựng các hệ thống vượt quá 228 m³ / h (1.000 gpm).

Thông số kỹ thuật chính

Dòng chảy sản phẩm danh nghĩa: 12,5 m³ / h mỗi mô-đun (55 gpm)

Sản phẩm Kháng nước: ≥18 MΩ · cm (đảm bảo)

Silica (SiO) ₂) Loại bỏ: ≥95%

Loại bỏ boron: ≥95%

Natri (Na) ⁺) Loại bỏ: ≥99,8%

Chloride (Cl) ⁻) Loại bỏ: ≥99,8%

Phục hồi nước: 98,5% đến 99%

Phạm vi điện áp DC hoạt động: 0 đến 300 V

Phạm vi hiện tại DC hoạt động: 2,0 đến 13,2 A

Dòng dẫn nước thức ăn: amp; lt; 10µS / cm (RO thứ cấp hoặc DI nước cần thiết)

Phạm vi nhiệt độ nước thức ăn: 20 ° C đến 45 ° C

Phạm vi áp suất nước thức ăn: 1,4 đến 7 bar (20 đến 100 psi)

Nước thức ăn Chlorine dư lại: amp; lt; 0,02 ppm

Nước cho ăn Tổng độ cứng: amp; lt; 0,1 ppm (như CaCO) ₃)

Thức ăn Silica phản ứng nước: amp; ít hơn 0,2 ppm

Nhiệt độ môi trường tối đa: ≤45 ° C

Môi trường cài đặt: Trong nhà, tránh ánh sáng mặt trời trực tiếp

Đường kính mô-đun: 44,45 cm

Chiều rộng mô-đun: 50,8 cm

Chiều cao mô-đun: 50,8 cm

Chiều dài mô-đun: 213,3 cm

Kết nối: Thiết kế đệm qua cổng, kết nối hàn polypropylene (PP) 50 mm bao gồm

Hộp nối: Hộp nối có dây trước bao gồm

Chứng nhận: CE Mark, sản xuất theo hệ thống quản lý chất lượng được chứng nhận ISO 9001 và ISO 14001

Hiệu suất điện trở sản phẩm điển hình: 17,5 đến 18 MΩ · cm

Điểm nổi bật kỹ thuật

Khung tập trung tế bào mỏng loại bỏ tiêm nước muối. Thiết kế tế bào mỏng độc quyền tập trung các ion bị từ chối mà không yêu cầu bơm nuôi nước muối bên ngoài hoặc bơm tái tuần hoàn tập trung, đơn giản hóa đường ống hệ thống và giảm số thiết bị phụ trợ.

Niêm phong đệm thông qua cổng ngăn chặn rò rỉ liên mạch. Mỗi điểm kết nối sử dụng một đệm nén thông qua cổng cách ly các dòng sản phẩm, tập trung và điện cực. Các chế độ lỗi rãnh O-ring phổ biến gặp phải với thiết kế tấm và khung thông thường được loại bỏ, giảm nguy cơ thời gian ngừng hoạt động không được lên kế hoạch trong hoạt động fab liên tục 24/7.

Phân phối dòng chảy tích hợp tối ưu hóa hiệu quả hiện tại. Con đường dòng chảy bên trong của mô-đun và sự sắp xếp đóng gói nhựa duy trì mật độ dòng đồng nhất trên toàn bộ khu vực hoạt động màng. Điều này ngăn chặn các điểm nóng địa phương hóa làm suy giảm tuổi thọ màng và đảm bảo hiệu suất từ chối silica và boron được đảm bảo trên 98,5% đến 99% phục hồi nước.

Hoạt động không hóa chất làm giảm gánh nặng OPEX và EHS. Sự tái tạo điện hóa xảy ra liên tục trong mô-đun - không cần axit, hóa chất gây ăn hoặc hóa chất trung lập. Một câu hỏi mua hàng phổ biến là liệu các mô-đun CEDI cần thay thế nhựa định kỳ hoặc làm sạch hóa chất hay không. Các mô-đun IONPURE VNX55-E hoạt động trong nhiều năm mà không thay thế nhựa; tần số làm sạch phụ thuộc hoàn toàn vào sự tuân thủ của nước thức ăn với chất lượng đầu vào tối thiểu được chỉ định.

Ứng dụng

Bán dẫn wafer fab đánh bóng nước siêu tinh khiết: Nhận thấm RO thứ cấp và đánh bóng đến 18 MΩ · cm để đắm lithography, khắc ướt và làm sạch sau CMP. Silica và boron loại bỏ ≥95% bảo vệ chống lại sự hình thành lỗi vi mạch trong các quy trình nút dưới 10 nm.

Màn hình màn hình phẳng (FPD) sản xuất nước rửa: Cung cấp nước rửa có độ tinh khiết cao nhất quán để làm sạch nền LCD và OLED. Tốc độ dòng chảy 12,5 m³ / giờ mỗi mô-đun cho phép dấu chân hệ thống nhỏ gọn cho các nhà máy UPW fab Gen 8.5 và Gen 10.5.

Nước cung cấp nồi hơi áp suất cao sản xuất điện: đánh bóng RO thấm vào độ dẫn dưới 0,1µS / cm cho trang điểm nồi hơi áp suất cao trong tua bin khí kết hợp và nhà máy than siêu quan trọng. Loại bỏ natri ≥99,8% ngăn chặn ăn mòn lưỡi tua bin và mở rộng silica.

Nước tinh khiết dược phẩm (PW) và nước tiêm (WFI) xử lý trước: Là giai đoạn đánh bóng trước lưu lượng chưng cất hoặc UF cuối cùng. Xóa bỏ xử lý hóa chất liên quan đến trao đổi DI dịch vụ tái tạo ngoài địa điểm, đơn giản hóa kiểm toán tuân thủ USP và EP.

Mở rộng nhà máy trung tâm UPW quy mô lớn: Nhiều mô-đun VNX55-E được phân phối song song sản xuất trên 228 m³ / giờ cho các vòng phân phối trên toàn khuôn viên trường. Hộp nối tích hợp và bao gồm các đầu nối hàn PP 50 mm làm giảm lao động đường ống và thời gian kết thúc điện trong khi lắp đặt.

Hướng dẫn lựa chọn

Các ứng dụng phù hợp:

Hệ thống nước siêu tinh khiết lớn đòi hỏi ≥12,5 m³ / h cho mỗi tàu đánh bóng với độ dẫn nguồn cấp dữ liệu consistentlyamp; lt; 10µS / cm từ RO thượng lưu

Các nhà máy bán dẫn và vi điện tử nơi các thông số kỹ thuật loại bỏ silica, boron, natri và clorua là rất quan trọng cho việc xử lý wafer

Các cơ sở tìm cách loại bỏ việc xử lý hóa chất nguy hiểm - không có axit số lượng lớn hoặc lưu trữ mùi, không có hệ thống trung lập, không có gánh nặng cho phép thải nước muối thải

Phòng điều khiển trong nhà hoặc tòa nhà xử lý nước với nhiệt độ xung quanh duy trì ở hoặc dưới 45 ° C và không có ánh sáng mặt trời trực tiếp trên các mô-đun

Không được khuyến nghị cho:

Nước cho ăn có độ dẫn vượt quá 10µS / cm hoặc độ cứng; gt; 0,1 ppm mà không cần nâng cấp xử lý trước. Vượt quá thông số kỹ thuật đầu vào làm giảm điện trở sản phẩm, tăng tốc quy mô trong các khoang tập trung và có thể làm hỏng vĩnh viễn màng trao đổi ion.

Các ứng dụng yêu cầu điện trở nước sản phẩm dưới 10 MΩ · cm ở dòng chảy đầy đủ. Trong các trường hợp như vậy, một mô-đun CEDI nhỏ hơn từ loạt IONPURE VNX-CDIT hoặc IP-LXM có thể cung cấp chi phí vốn tỷ lệ hơn cho mỗi đơn vị dòng chảy.

Lắp đặt ngoài trời mà không có vỏ bảo vệ thời tiết. VNX55-E được đánh giá cho sử dụng trong nhà; Phơi nhiễm tia cực tím và môi trường có nguy cơ đóng băng đòi hỏi một nơi trú ẩn kiểm soát nhiệt độ.

Câu hỏi thường gặp

1. Kích thước lắp đặt và dấu chân của IONPURE VNX55-E là gì?

Thân mô-đun dài 213,3 cm, rộng 50,8 cm và cao 50,8 cm với đường kính 44,45 cm. Cho phép khoảng trống bổ sung cho phụ kiện kết nối PP hàn 50 mm và truy cập hộp giao tiếp phía trước.

2. Thời gian giao hàng điển hình hoặc thời gian dẫn cho VNX55-E là bao lâu?

Thời gian dẫn tiêu chuẩn là 8 đến 12 tuần từ xác nhận đơn đặt hàng nhà máy. Đối với thời gian dự án khẩn cấp, khe sản xuất nhanh có thể giảm giao hàng xuống còn 6 tuần.

3. chất lượng nước thức ăn cần thiết để vận hành VNX55-E một cách đáng tin cậy?

Nước thức ăn phải thấm RO thứ cấp hoặc nước chất lượng DI với độ dẫn; lt; 10µS / cm, nhiệt độ 20-45 ° C, áp suất 1,4-7 bar, amp clo còn lại; lt; 0,02 ppm, độ cứng samp; lt; 0,1 ppm như CaCO ₃, và silica phản ứng; lt; 0,2 ppm. Hoạt động ngoài các giới hạn này làm giảm khả năng chống nước của sản phẩm và có thể vô hiệu hóa bảo hành.

4. Mô-đun CEDI IONPURE VNX55-E chi phí bao nhiêu? Giá là gì?

VNX55-E thường dao động từ 65.000 đến 85.000 USD mỗi mô-đun tùy thuộc vào khối lượng cấu hình hệ thống và điều khoản giao hàng khu vực. Giá dao động do tỷ giá hối đoái, thuế quan và điều chỉnh nhà máy. Để có báo giá chính xác với giá hiện tại và chi phí vận chuyển, hãy liên hệ trực tiếp với Công nghệ Bắc Kinh Zhongping.

5. Điều khoản thanh toán nào có sẵn khi mua VNX55-E?

Chúng tôi chấp nhận chuyển khoản (T / T) và tín dụng không thể thu hồi (L / C) ngay khi nhìn thấy. Đối với các tài khoản công nghiệp đủ điều kiện, Công nghệ Bắc Kinh Zhongping cung cấp thanh toán theo giai đoạn liên quan đến các mốc kiểm tra chấp nhận nhà máy.

6. VNX55-E có thể hoạt động ở dòng chảy một phần, ví dụ như trong thời gian đưa vào hoạt động hoặc nhu cầu thấp không?

Có, mô-đun có thể hoạt động ở dòng chảy giảm bằng cách điều chỉnh dòng DC tỷ lệ. Duy trì dòng chảy nước cấp trong vòng 60% đến 110% của danh nghĩa và điều chỉnh điện áp để duy trì mật độ dòng mục tiêu để loại bỏ ion tối ưu.

7. Tỷ lệ phục hồi nước VNX55-E đạt được và tập trung được xử lý như thế nào?

Mô-đun đạt được 98,5% đến 99% phục hồi. Dòng chảy tập trung 1% đến 1,5% còn lại có thể được trả lại vào bể thức ăn RO hoặc xả ra, vì nó chỉ chứa muối thức ăn tập trung mà không thêm hóa chất.

VNX55-E có tương thích với các hệ thống kiểm soát giám sát và thu thập dữ liệu dựa trên PLC hiện có không?

Có, hộp kết nối có dây trước cung cấp các đầu cuối đầu vào điện DC. Người dùng cung cấp nguồn điện DC bên ngoài (được đánh giá là 0-300 VDC, 2.0-13.2 A) từ một bộ điều chỉnh được điều khiển bởi tín hiệu tương tự 4-20 mA hoặc 0-10 VDC từ SCADA hoặc PLC nhà máy.

9.VNX55-E có bảo hành gì và các thỏa thuận dịch vụ mở rộng có sẵn không?

Chúng tôi cung cấp bảo hành tiêu chuẩn 12 tháng từ khi đưa vào hoạt động hoặc 18 tháng từ khi vận chuyển, tùy thuộc vào điều gì xảy ra trước. Các chương trình bảo hành mở rộng bao gồm kiểm toán hiệu suất hàng năm và kiểm tra tính toàn vẹn màng có sẵn từ Công nghệ Bắc Kinh Zhongping.

10. Làm thế nào để thay thế hoặc mở rộng các mô-đun VNX55-E phù hợp thủy lực với các bộ phận hiện có?

Tất cả các mô-đun VNX55-E đều chia sẻ kháng thủy lực và hình học cổng giống nhau. Các mô-đun mới có thể được thêm vào một bộ phận song song hiện có mà không cần cân bằng lại. Cung cấp dòng chảy thiết kế hệ thống và tải điện hiện tại cho mỗi tàu khi đặt hàng, và Công nghệ Bắc Kinh Zhongping cung cấp bản vẽ kết nối đa dạng và lịch trình tải điện.